半導體製程零件

半導體製程零件 Semiconductor Processing Parts 專為半導體製程設備設計，兼具高純度、低汙染及耐化學特性，確保製程穩定與產品良率。

產品特性

  • 高性能鐵氟龍 PTFE 及複合鐵氟龍材質，耐化學腐蝕
  • 低顆粒生成及低溶出性，適合高潔淨製程環境
  • 耐高低溫（-190℃~+260℃）、耐酸鹼及有機溶劑
  • 可提供客製化尺寸、形狀與零件組合，滿足特殊製程需求

應用領域

  • 半導體蝕刻、清洗、沉積、封裝等製程設備
  • 高純度化學藥液傳輸與流體控制系統
  • 真空腔體及自動化製程模組
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